IBM počeo da koristi imerzionu litografiju

IBM je u četvrtak izneo u javnost podatak da je napravio
prve primerke procesora zasnovanih na Power athitekturi pomoću imerzione litografije.
Na ovaj način je IBM postao prva kompanija na svetu koja je upotrebila imerzionu
litografiju u proizvodnji komercijalnih čipova, a na sličan potez se spremaju
i drugi. Vest je objavljena javnosti u Pekingu gde je IBM zajedno sa još 15
kompanija, među kojima su i poznati dizajneri i proizvođači čipova, predstavio
novu inicijativu otvorenih standarda u razvoju čipova zasnovanu oko arhitekture
Power mikroprocesora.
IBM je imerzionu litografiju dodao u svoj tehnološki roadmap u avgustu ove godine,
a ona se od takozvane suve litografije razlikuje po tome što je prostor između
projekcionog sočiva skenera i površine vafera ispunjen tečnošću. Ovakav pristup
poseduje brojne prednosti, od kojih je svakako najvažnija mogućnost upotrebe
193 nm skenera pri tranziciji na 45 nm proces, eliminišući na taj način potrebu
za korišćenjem ekstremne ultraljubičaste litografije i skupih alata potrebnih
za nju.
Neki analitičari su skeptični povodom tvrdnji IBM-a, pošto u ovom trenutku na
tržištu ne mogu da se nađu skeneri za imerzionu litografiju. Holandski ASML
Holding NV i japanski Nikon ih trenutno razvijaju, ali njihovi modeli su tek
stigli do nivoa prototipa, mada kompanija Albany NanoTech tvrdi da ima jedan
rani ASML Twinscan model na kome trenutno testira proizvodnju na 300 mm vaferima.
Poznato je i da će Infineon Technologies i AMD sarađivati sa IBM-om i drugom
kompanijama na razvoju imerzione litografije.

Izvor: EE Times